低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率好大、極限壓力好低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于帕。溫度為20K時，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
低溫熔鹽泵的使用特點
熔鹽泵的的熔鹽是鹽，在標準溫度和壓力的固體（STP）而進入由于溫度的升高，液相。鹽，通常是液體在STP通常稱為室溫離子液體，雖然熔鹽泵的的熔鹽是一類離子液體。
熔鹽泵的熔鹽具有多種用途的。氯化物熔鹽混合物通常被用來作為各種合金熱處理浴，如退火和等溫淬火鋼。氰化物和氯鹽的混合物，用于合金如滲碳和碳氮共滲鋼表面改性。冰晶石（氟鹽）是作為一個在hall-héroult工藝生產鋁鋁氧化物溶劑。氟，氯，和氫氧化物鹽可作為核燃料的高溫處理溶劑。熔鹽泵的熔鹽（氟，氯，和硝酸鹽）也可以被用來作為傳熱流體和儲熱。這種熱存儲用于太陽能熱發電廠。室溫熔鹽泵的熔相中在溫度和壓力的標準條件。這些鹽的例子包括N-乙基溴化銨和氯化鋁混，1951和硝酸的保羅瓦爾登發現。
