低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率好大、極限壓力好低的清潔真空,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。
一般說來,泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí),水的蒸氣壓已低于帕。溫度為20K時(shí),除氦、氖和氫外,其他氣體的蒸氣壓也低于帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同,泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對(duì)于室溫下的容器,低溫板為20K時(shí),泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
低溫熔鹽泵的使用特點(diǎn)
熔鹽泵的的熔鹽是鹽,在標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力的固體(STP)而進(jìn)入由于溫度的升高,液相。鹽,通常是液體在STP通常稱為室溫離子液體,雖然熔鹽泵的的熔鹽是一類離子液體。
熔鹽泵的熔鹽具有多種用途的。氯化物熔鹽混合物通常被用來作為各種合金熱處理浴,如退火和等溫淬火鋼。氰化物和氯鹽的混合物,用于合金如滲碳和碳氮共滲鋼表面改性。冰晶石(氟鹽)是作為一個(gè)在hall-héroult工藝生產(chǎn)鋁鋁氧化物溶劑。氟,氯,和氫氧化物鹽可作為核燃料的高溫處理溶劑。熔鹽泵的熔鹽(氟,氯,和硝酸鹽)也可以被用來作為傳熱流體和儲(chǔ)熱。這種熱存儲(chǔ)用于太陽(yáng)能熱發(fā)電廠。室溫熔鹽泵的熔相中在溫度和壓力的標(biāo)準(zhǔn)條件。這些鹽的例子包括N-乙基溴化銨和氯化鋁混,1951和硝酸的保羅瓦爾登發(fā)現(xiàn)。
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